更新時(shí)間:2024-09-03
微型無(wú)線溫度記錄器光刻系統(tǒng)是制造芯片的核心裝備,其中溫度的檢測(cè)尤為重要,溫度會(huì)影響光刻膠流動(dòng),從而影響光刻的成品率。微型無(wú)線溫度記錄器體積微小,重量輕,攜帶方便。適用于曝光系統(tǒng),光刻系統(tǒng)等的溫度檢測(cè)記錄。產(chǎn)品特點(diǎn)1. 體積微小、靈活通用;2. 溫度準(zhǔn)確度小于10mK;3. 采用無(wú)線通訊方式,響應(yīng)時(shí)間短,可連續(xù)工作時(shí)間超過(guò)10天。產(chǎn)品尺寸長(zhǎng)20mm×寬
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無(wú)線溫度記錄器微型無(wú)線溫度記錄器
產(chǎn)品概述
光刻系統(tǒng)是制造芯片的核心裝備,其中溫度的檢測(cè)尤為重要,溫度會(huì)影響光刻膠流動(dòng),從而影響光刻的成品率。微型無(wú)線溫度記錄器體積微小,重量輕,攜帶方便。適用于曝光系統(tǒng),光刻系統(tǒng)等的溫度檢測(cè)記錄。
微型無(wú)線溫度記錄器產(chǎn)品特點(diǎn)
1. 體積微小、靈活通用;
2. 溫度準(zhǔn)確度小于10mK;
3. 采用無(wú)線通訊方式,響應(yīng)時(shí)間短,可連續(xù)工作時(shí)間超過(guò)10天。
微型無(wú)線溫度記錄器主要參數(shù)
產(chǎn)品尺寸 | 長(zhǎng)20mm×寬20mm×厚10mm |
溫度范圍 | 0℃ ~ 40℃ |
溫度準(zhǔn)確度 | <10mK(3σ) |
重復(fù)測(cè)量準(zhǔn)確度 | <5mK(3σ) |
傳感器響應(yīng)時(shí)間 | ≤1s |
采集頻率 | Max.1Hz |
連續(xù)工作時(shí)間 | ≥10days |
通訊方式 | Wifi |
保修期 | 1年 |